磁传感器 定义 发展历程 测量物理参数机器

定义

什么是磁传感器，就是把磁场、电流、应力应变、温度、光等外界因素引起敏感元件磁性能变化转换成电信号，以这种方式来检测相应物理量的器件。在生活中都用到很多磁传感器，比如说指南针，电脑硬盘、家用电器等等。

发展历程

磁传感器的发展，在本世纪70～80年代形成高潮。90年代是已发展起来的这些磁传感器的成熟和完善的时期。

集成电路技术的应用。将硅集成电路技术用于磁传感器，开始于1967年。Honeywell公司Mi2croswitch分部的科技人员将Si霍尔片和它的讯号处理电路集成到一个单芯片上，制成了开关电路，首开了单片集成磁传感器之先河。已经出现了磁敏电阻电路、巨磁阻电路等许多种功能性的集成磁传感器。

InSb薄膜技术的开发成功，使InSb霍尔元件产量大增，成本大幅度下降。最先运用这种技术获得成功的日本旭化成电子公司。

强磁性合金薄膜。1975年面市的强磁合金薄膜磁敏电阻器利用的是强磁合金薄膜中的磁敏电阻各向异性效应。在与薄膜表面平行的磁场作用下，以坡莫合金为代表的强磁性合金薄膜的电阻率呈现出2%～5%的变化。利用这种效应已制成三端、四端磁阻器件。四端磁阻桥已大量用于磁编码器中，用来检测和控制电机的转速。此外，还作成了磁阻磁强计、磁阻读头以及二维、三维磁阻器件等。

巨磁电阻多层膜。由不同金属、不同层数和层间材料的不同组合，可以制成不同的机制的巨磁电阻磁传感器。它们呈现出的随磁场而变化的电阻率，比单层的各向异性磁敏电阻器的要高出几倍，正受到研制高密度记录磁盘读出头的科技人员的极大关注，已见有5G字节的自旋阀头的设计分析的报导。